八月三號(hào)，鵬城，實(shí)驗(yàn)樓三層。

錢(qián)院士帶了十二個(gè)人，關(guān)在機(jī)房里，三天沒(méi)出來(lái)。

手冊(cè)拆開(kāi)之后，問(wèn)題比想象的多。蔡司的鍍膜工藝用的是磁控濺射加離子束輔助沉積，兩套系統(tǒng)配合，精度要求到了亞納米級(jí)別。

錢(qián)院士的助手小周拿著打印出來(lái)的參數(shù)表，站在設(shè)備前，對(duì)了半天。

“錢(qián)老，咱們這臺(tái)濺射設(shè)備，靶材轉(zhuǎn)速最高到三千轉(zhuǎn)，手冊(cè)上要求四千五?！?/p>

錢(qián)院士走過(guò)來(lái)，看了一眼參數(shù)。

“膜厚控制呢？”

小周翻到第三頁(yè)：“手冊(cè)要求單層膜厚度誤差不超過(guò)零點(diǎn)零二納米。咱們這臺(tái)設(shè)備最好做到零點(diǎn)零八，差四倍?！?/p>

錢(qián)院士把參數(shù)表放下，摘了老花鏡。

設(shè)備不夠——這是硬傷。

他打給張紅旗。

“紅旗，設(shè)備精度不夠。手冊(cè)里的工藝，咱們現(xiàn)有的機(jī)器跑不了?！?/p>

張紅旗在煤市街：“差多少？”

“核心指標(biāo)差三到四倍。要么換設(shè)備，要么改設(shè)備。換設(shè)備國(guó)內(nèi)買(mǎi)不到，國(guó)外買(mǎi)走審批，最快半年?！?/p>

張紅旗說(shuō)：“改?！?/p>

“改設(shè)備風(fēng)險(xiǎn)很大，改壞了連現(xiàn)在的精度都保不住。”

張紅旗說(shuō)：“錢(qián)老，您先穩(wěn)住。材料那邊我來(lái)解決。設(shè)備改造的方案您先出，我這邊配合?！?/p>

掛了。

八月四號(hào)，東京，住友化學(xué)株式會(huì)社。

住友的半導(dǎo)體材料部門(mén)收到了一份內(nèi)部通報(bào)：ASmL和一家開(kāi)曼信托公司達(dá)成了專(zhuān)利交叉授權(quán)協(xié)議，鍍膜技術(shù)參數(shù)外流。

住友的材料部部長(zhǎng)田中看完通報(bào)，叫來(lái)下屬。

“查一下，之前跟我們采購(gòu)高純度鉬靶材的那個(gè)中國(guó)團(tuán)隊(duì)，是不是鵬城那邊的？”

下屬查了記錄：“是。去年十一月下過(guò)一批訂單，后來(lái)因?yàn)槌隹诠苤茖徟ㄗ×?，一直沒(méi)發(fā)貨。”

田中點(diǎn)頭：“現(xiàn)在ASmL把技術(shù)給出去了，說(shuō)明這個(gè)團(tuán)隊(duì)有背景。重新聯(lián)系他們?！?/p>

下屬問(wèn)：“價(jià)格呢？”

田中說(shuō)：“漲百分之五十。”

下屬?zèng)]多問(wèn)，發(fā)了郵件。

八月五號(hào)，鵬城，錢(qián)院士收到住友的郵件。

他看了報(bào)價(jià)，眉頭皺了一下，打給張紅旗。

“材料供應(yīng)商主動(dòng)聯(lián)系過(guò)來(lái)了——日本住友。高純度鉬靶材，去年卡住的那批貨，現(xiàn)在愿意賣(mài)了，但是漲價(jià)百分之五十。”

張紅旗問(wèn)：“原價(jià)多少？”

“一批三百二十萬(wàn)美元，現(xiàn)在要四百八十萬(wàn)。”

張紅旗沒(méi)猶豫：“買(mǎi)。二十四小時(shí)內(nèi)發(fā)貨，到不了貨換供應(yīng)商?！?/p>

錢(qián)院士說(shuō)：“國(guó)內(nèi)沒(méi)有替代供應(yīng)商，這個(gè)純度只有住友和德國(guó)賀利氏能做?！?/p>

張紅旗說(shuō)：“那就讓他們發(fā)。錢(qián)的事我來(lái)辦?！?/p>

掛了電話，張紅旗打給劉浩。

劉浩在京城，剛從北影廠出來(lái)。

“浩子，走個(gè)賬。四百八十萬(wàn)美元，從香港賬戶(hù)出，打到住友化學(xué)的指定賬戶(hù)，今天之內(nèi)到?！?/p>

劉浩問(wèn)：“什么錢(qián)？”

“材料費(fèi)，不多問(wèn)?！?/p>

劉浩說(shuō)：“行，我讓陳默那邊辦。”

當(dāng)天下午，陳默在香港操作。錢(qián)從瑞士賬戶(hù)轉(zhuǎn)到香港，再?gòu)南愀鄞虻綎|京。四個(gè)小時(shí)，到賬。

住友收到款，田中簽了發(fā)貨單。鉬靶材從橫濱港裝船，走海運(yùn)，三天到鵬城。

八月八號(hào)，材料到了。

錢(qián)院士沒(méi)急著裝料。他帶著團(tuán)隊(duì)蹲在濺射設(shè)備前，干了一件事。

改機(jī)器。

小周把設(shè)備的控制電路板拆出來(lái)。錢(qián)院士拿著手冊(cè)上的參數(shù)，在白板上畫(huà)了一個(gè)補(bǔ)償模型。

“設(shè)備精度不夠，用軟件補(bǔ)?！?/p>

他讓三個(gè)博士生把實(shí)驗(yàn)樓地下室的模擬集群調(diào)出來(lái)——四十臺(tái)服務(wù)器，全部接上——跑了一個(gè)補(bǔ)償算法。

思路很簡(jiǎn)單：設(shè)備硬件做不到零點(diǎn)零二納米的精度，就在每一層鍍膜的過(guò)程中用傳感器實(shí)時(shí)采集數(shù)據(jù)，反饋到算法里，算法即時(shí)修正下一步的沉積參數(shù)。

等于讓一個(gè)手抖的人，靠一套自動(dòng)修正系統(tǒng)，畫(huà)出一條直線。

八月九號(hào)，凌晨?jī)牲c(diǎn)，補(bǔ)償參數(shù)跑出來(lái)了。

小周把參數(shù)灌進(jìn)設(shè)備控制系統(tǒng)，重啟。

濺射設(shè)備嗡嗡響了起來(lái)。

錢(qián)院士站在無(wú)塵室的觀察窗外，看著里面。

第一層鉬膜，沉積開(kāi)始。

傳感器采集，數(shù)據(jù)回傳，算法修正。第二層硅膜，沉積，采集，修正。

一層鉬，一層硅，交替沉積。

EUV反射鏡面需要四十對(duì)鉬硅多層膜——八十層，每層厚度不到七納米。

八月十號(hào)，下午三點(diǎn)，八十層鍍完。

小周從無(wú)塵室里出來(lái)，手里端著一塊圓形基片，直徑十五厘米，表面泛著金屬光澤。

錢(qián)院士接過(guò)來(lái)，放在檢測(cè)臺(tái)上。

橢偏儀啟動(dòng)，激光打在鏡面上，反射，探測(cè)器接收。

數(shù)據(jù)出來(lái)了。

小周看著屏幕，念數(shù)：“單層膜厚度誤差，零點(diǎn)零三五納米?！?/p>

錢(qián)院士沒(méi)說(shuō)話。

手冊(cè)要求零點(diǎn)零二，他們做到了零點(diǎn)零三五。沒(méi)達(dá)標(biāo)，但比原來(lái)的零點(diǎn)零八好了一倍多。

“反射率呢？”

小周切換到下一組數(shù)據(jù)：“十三點(diǎn)五納米波長(zhǎng)，反射率百分之六十二點(diǎn)三?！?/p>

錢(qián)院士看著這個(gè)數(shù)字。

手冊(cè)上蔡司的指標(biāo)是百分之六十七，差了不到五個(gè)點(diǎn)。

但是，EUV光刻機(jī)的最低工作門(mén)檻是百分之六十。

他們過(guò)線了。

錢(qián)院士走到角落，拿起電話。

“紅旗，光打通了?！?/p>

張紅旗在煤市街的院子里，正看著陳默送來(lái)的一份報(bào)告。

“什么意思？”

錢(qián)院士聲音平穩(wěn)：“極紫外光源，十三點(diǎn)五納米，穿過(guò)反射鏡面，形成了穩(wěn)定光束。參數(shù)達(dá)到了EUV光刻的最低發(fā)光標(biāo)準(zhǔn)?！?/p>

張紅旗把手里的報(bào)告放下。

“錢(qián)老，您確認(rèn)？”

“儀器記錄的，白紙黑字。反射率百分之六十二點(diǎn)三，過(guò)了百分之六十的門(mén)檻?！?/p>

張紅旗站了起來(lái)，走到院子里?；睒?shù)葉子在夜風(fēng)里晃。

“這是第一步?！?/p>

錢(qián)院士說(shuō)：“是第一步。后面還有光源系統(tǒng)、物鏡組、工件臺(tái)、掩模版，每一項(xiàng)都是硬骨頭。但鏡面這關(guān)，算是過(guò)了?！?/p>

張紅旗說(shuō)：“錢(qián)老，辛苦了。數(shù)據(jù)鎖好，不要外傳?！?/p>

“放心?！?/p>

掛了電話。

張紅旗回到書(shū)房。桌上攤著麥佳佳從洛杉磯發(fā)來(lái)的一份行業(yè)報(bào)告。

他坐下來(lái)，翻到第十四頁(yè)。

全球?qū)拵ЬW(wǎng)絡(luò)用戶(hù)增長(zhǎng)曲線。

二零零一年底，全球?qū)拵в脩?hù)五千萬(wàn)；二零零二年中，八千萬(wàn)；預(yù)計(jì)年底突破一點(diǎn)二億。

增長(zhǎng)率，年化百分之一百四十。

張紅旗盯著這條曲線。

他翻到下一頁(yè)。中國(guó)市場(chǎng)，寬帶用戶(hù)從年初的三百萬(wàn)半年漲到六百萬(wàn)，網(wǎng)吧數(shù)量突破十萬(wàn)家。

他合上報(bào)告，拿起筆，在筆記本上寫(xiě)了一行字。

“寬帶，內(nèi)容，平臺(tái)?！?/p>

他劃掉了“平臺(tái)”兩個(gè)字，又寫(xiě)上。

“先做內(nèi)容?！?/p>